超聲波清洗機(jī)
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產(chǎn)品名稱(chēng):
超聲波清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào):
W-357-1MQG-SKC
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
HONDA本多電子株式會(huì)社
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
HONDA本多_石英振動(dòng)體型清洗機(jī)
用
抗殘留物去除
磨邊、灰化后的聚合物去除
柵極清潔
CMP后的清潔
超聲波清洗機(jī)
的詳細(xì)介紹
HONDA本多_石英振動(dòng)體型清洗機(jī)_W-357-1MQB-SKC
長(zhǎng)處
清潔具有小型化圖案的晶圓，損壞低
■超聲波疊加在石英振動(dòng)體上，清潔半導(dǎo)體晶片。
通過(guò)將化學(xué)溶液浸入半導(dǎo)體晶片中并通過(guò)石英玻璃傳播超聲波振動(dòng)，接觸部分的化學(xué)溶液振動(dòng)，加速度去除表面的污垢。
■實(shí)現(xiàn)清潔清潔，對(duì)半導(dǎo)體晶圓的損壞很小。
通過(guò)使用石英與化學(xué)品接觸，與使用橡膠材料（如填料）的設(shè)備相比，無(wú)需橡膠洗脫或磨損即可實(shí)現(xiàn)清潔清潔。
■由于具有諧振器冷卻功能，*大輸出功率比標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品提高了2.4倍。
通過(guò)用氣體（氮?dú)獾龋├鋮s傳感器，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行，而不會(huì)出現(xiàn)頻率波動(dòng)。
此外，冷卻可確保較長(zhǎng)的使用壽命，而不會(huì)突然的溫度變化。
用
抗殘留物去除
磨邊、灰化后的聚合物去除
柵極清潔
CMP 后的清潔
發(fā)生器
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型式
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W-357-1MQB-SKC
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発振方式
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周波數(shù)設(shè)定式他勵(lì)発振
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定格出力
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12W
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公稱(chēng)発振周波數(shù)
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1MHz
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電源入力
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AC100V～240V
単相 50/60Hz 300VA
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外形寸法
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180（W）×250（D）×100（H）mm
（突起部は除く、ゴム足を含む）
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質(zhì) 量
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2.2kg
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●輸出可變范圍：0W~12W（振動(dòng)體允許輸入：使用空氣吹掃振蕩器冷卻時(shí)連續(xù)10W）
● 環(huán)境：溫度：15~35°C，濕度：10~85%
●外部驅(qū)動(dòng)觸點(diǎn)額定值：超聲波振蕩控制（控制側(cè)）觸點(diǎn)輸入：DC12V 16mA以上
報(bào)警輸出（儀表）觸點(diǎn)容量：DC24V 0.5A
■附帶電纜：電源線（100V2m/200V3m），控制線（5m）x 4
噴頭
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流量
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指定なし
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全長(zhǎng)
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159mm
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チャック部寸法
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φ24mm
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照射面積
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24cm2
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質(zhì)量
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600g
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●工作液體溫度范圍：20~50°C
- 諧振器：PZT
- 材料： 振動(dòng)體： 石英玻璃， 包裝： 硅橡膠， 表殼： PCTFE
--線長(zhǎng)：輸出碼1.5米+繼電器碼3.5米
- 空氣吹掃接頭：兼容管（外徑φ6）