成膜設(shè)備可選部件

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產(chǎn)品名稱: 成膜設(shè)備可選部件

產(chǎn)品型號: PSE-150C

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

成膜設(shè)備可選部件 的詳細(xì)介紹

ULVAC 成膜設(shè)備可選部件 PSE-150C

規(guī)格

PSE-150C

電壓	AC １00V 單相 0.8kVA（50/60Hz）允許電壓變動范圍＝±10％
負(fù)荷電流	Max. 80A
控制信號	外部自動控制輸入 DC-0～10V/0～100％設(shè)定接收阻抗 1MΩ
電力控制方式	晶閘管交流相位控制系統(tǒng)（輸出穩(wěn)定精度：±10％?輸出變動±2％）
定格	30分
外形尺寸	480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（不包括突起部分和配件）
質(zhì)量	約24kg

選項

標(biāo)準(zhǔn)代碼	PSE- 15C11111	PSE- 15C21111	PSE- 15C31111	PSE- 15C12211	PSE- 15C22211	PSE- 15C32211
輸出位置切換功能	1點(diǎn)切換	2點(diǎn)切換	3點(diǎn)切換	1點(diǎn)切換	2點(diǎn)切換	3點(diǎn)切換
小電力切換功能	無	無	無	有	有	有
通過成膜控制器自動控制	無	無	無	有	有	有
通過溫度指示調(diào)節(jié)器自動控制	無	無	無	無	無	無
輸出遙控	選項	選項	選項	選項	選項	選項

標(biāo)準(zhǔn)代碼

項目	代碼	規(guī)格
1. 系列	PSE-	抵抗加熱式真空蒸著設(shè)備用蒸發(fā)電源、面板安裝系統(tǒng)、數(shù)字顯示
2. 電源容量→ 輸出容量可以選擇。	8	輸入：單相100V、輸出：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）^※注１
2. 電源容量→ 輸出容量可以選擇。	5	輸入：單相200V、輸出：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 控制方式	C	自動定輸出反饋控制（恒定電流/定電壓/定電力　選擇方式）
4. 輸出位置切換功能 → 可根據(jù)蒸發(fā)源的電極構(gòu)成進(jìn)行選擇。	1	無：１點(diǎn)
	2	２點(diǎn)切換
	3	３點(diǎn)切換
5. 小電力切換功能→ 可應(yīng)用于有機(jī)物等小型輸出調(diào)整	1	無
5. 小電力切換功能→ 可應(yīng)用于有機(jī)物等小型輸出調(diào)整	2	低輸出（0～50A）/高輸出（0～150A）變壓器切換
6. 自動控制器功能 → 具有通過成膜控制器自動控制輸出的功能。	1	無：手動調(diào)整
	2	具有膜厚儀輸出自動控制功能（固定）
	3	通過膜厚儀或溫度調(diào)節(jié)計，可以具有自動輸出控制功能（切換）
7. 內(nèi)置溫度指示調(diào)節(jié)計 → 具有通過溫度調(diào)節(jié)計自動進(jìn)行輸出控制的功能。	1	無
	2	有（ＰＩＤ控制方式）^※注２
8. 輸出遙控→ 監(jiān)視真空槽內(nèi)的同時有效地進(jìn)行輸出調(diào)整	2	無
8. 輸出遙控→ 監(jiān)視真空槽內(nèi)的同時有效地進(jìn)行輸出調(diào)整	2	有（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1 可對應(yīng)輸出位置切換功能、膜厚儀自動功能、輸出遙控（小電力功能／溫度自動功能／溫調(diào)計功能不能對應(yīng)）
※注2 僅自動控制器功能 [３] 選擇時適用

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成膜設(shè)備可選部件

ULVAC 成膜設(shè)備可選部件 PSE-150C 蒸鍍用電源(帶外部自動控制功能) 可根據(jù)規(guī)格的選擇在成膜控制器與溫度調(diào)節(jié)計的組合下控制

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