高真空排氣系統(tǒng)
如果您對(duì)該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱:
高真空排氣系統(tǒng)
產(chǎn)品型號(hào):
TPS-50ZC
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
PHIL佐藤
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
PHIL佐藤 高真空排氣系統(tǒng) TPS-50ZC
高真空排氣系統(tǒng)
的詳細(xì)介紹
PHIL佐藤 高真空排氣系統(tǒng) TPS-50ZC
特點(diǎn)
適用于高真空條件下的各種實(shí)驗(yàn)、開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程。
風(fēng)冷系統(tǒng)無(wú)需水管，減輕了維護(hù)負(fù)擔(dān)。
100 V 電源，可在任何地點(diǎn)使用。
鋁制主框架和底座，重量輕。
設(shè)計(jì)緊湊，使用方便。
渦輪分子泵排氣系統(tǒng) <TPS> 類型
通過(guò)將輔助泵與隔膜式干式真空泵或渦旋式干式真空泵相結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)全干式抽氣系統(tǒng)。
啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)間短。
渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)具有很強(qiáng)的抗意外引入大氣的能力。
(注：反復(fù)有意引入大氣可能會(huì)導(dǎo)致故障。
機(jī)油擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng) <DPS> 型
可以較低成本獲得高真空氣氛。
通過(guò)三通閥切換功能，只需一臺(tái)輔助泵即可獨(dú)立運(yùn)行。
易于維護(hù)和檢查。
<TPS>類型
|
型 式
|
TPS-50ZA
|
TPS-50ZB
|
TPS-50ZC
|
TPS-220ZA
|
TPA-220ZB
|
TPS-220ZC
|
|
ターボ分子ポンプ
|
50L/s
|
220L/s
|
|
補(bǔ)助ポンプ
|
DW-60
|
USW-50N
|
MZ-2CNT
|
DW-120
|
USW-100N
|
ISP-250C
|
|
到達(dá)圧力
|
×10-5Pa*1
|
×10-3Pa*1
|
×10-5Pa*1
|
×10-4Pa*1
|
|
起動(dòng)/停止時(shí)間
|
3/3min*2
|
2.2/3.5min*2
|
|
吸気口徑
|
VG-65
|
VG-100
|
|
所要電力（AC）
|
100V 15A
|
|
質(zhì)量
|
約51kg
|
約55kg
|
約45kg
|
約56kg
|
約59kg
|
約70kg
|
外形寸法
(W×D×Hmm)
|
600×400×700
|
600×400×750
|
600×400×700
|
600×400×730
|
600×400×800
|
600×400×850
|
<DPS類型
|
型 式
|
DPS-2-ZA
|
DPS-2-ZB
|
DPS-3-ZA
|
DPS-3-ZB
|
DPS-4-ZA
|
DPS-4-ZB
|
|
油拡散ポンプ
|
58L/s
|
150L/s
|
215L/s
|
|
補(bǔ)助ポンプ
|
DW-60
|
USW-50N
|
DW-120
|
USW-100N
|
DW-120
|
USW-150N
|
|
到達(dá)圧力
|
×10-4Pa*3
|
|
起動(dòng)時(shí)間
|
17min*2
|
22min*2
|
|
吸気口徑
|
VF-50
|
VF-80
|
VF-100
|
|
所要電力（AC）
|
100V 15A
|
100V 15A×2*4
|
|
質(zhì)量
|
約57kg
|
約60kg
|
約68kg
|
約70kg
|
約70kg
|
約80kg
|
外形寸法
(W×D×Hmm)
|
600×400×935
|
600×400×995
|
600×400×1095
|
600×400×1030
|
600×400×1130
|
＊ 1: 渦輪分子泵烘烤和脫氣后泵頭上的數(shù)值。
啟動(dòng)時(shí)間是在進(jìn)氣口關(guān)閉的情況下測(cè)量的。 時(shí)間取決于腔室容量。
3 進(jìn)氣口關(guān)閉時(shí)的數(shù)值。
輔助泵和主泵配有獨(dú)立的電源插頭。
還可提供定制版本，其中包含各種可選組件，以滿足客戶的可用性和規(guī)格要求。