真空沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品名稱: 真空沉積系統(tǒng)

產(chǎn)品型號(hào): HSV-8-50

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: PHIL佐藤

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

真空沉積系統(tǒng) 的詳細(xì)介紹

PHIL佐藤真空沉積系統(tǒng) HSV-8-50

本系列電阻加熱蒸發(fā)設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊，專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)。該系列中的某些型號(hào)還可配備電子束 (EB)。

型　　式	HSV-3-30G	HSV-8-50		HSV-12-80
到達(dá)圧力	×10^-3Pa			×10^-4Pa
基板加熱溫度	-	Max 300℃
蒸発源（電極）	2対 10V Max150A			2対 20V Max200A
バルブ操作	手動(dòng)	自動(dòng)	手動(dòng)	自動(dòng)	手動(dòng)
真空槽	φ300×H300mm 透明ガラス	φ500×H500mm（水冷式） SUS 304		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式 SUS 304
回転機(jī)構(gòu)	-	公転機(jī)構(gòu)		自公転機(jī)構(gòu)
內(nèi)部機(jī)構(gòu)	快門機(jī)構(gòu)、電阻加熱機(jī)構(gòu)	百葉窗機(jī)構(gòu)、加熱加熱器、電阻加熱機(jī)構(gòu)
主ポンプ	油拡散3inches	油拡散8inches		油拡散12inches或低溫
補(bǔ)助ポンプ	150L/min	500L/min		1500L/min
主バルブ	3inches	8inches		12inches

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