多成分濃度計
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產(chǎn)品名稱:
多成分濃度計
產(chǎn)品型號:
FUD-1 Model-53（專用）
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
FUJI-US富士工業(yè)
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
FUJI-US富士工業(yè) 多成分濃度計 FUD-1 Model-53
該型號保留了 FUD-1 Model-53 的優(yōu)點，如易于維護和高精度在線測量，并采用了緊湊型單元式發(fā)射器，適用于半導體制造工藝。
多成分濃度計
的詳細介紹
多組分密度計的特點
可提供實時雙組分密度計和三組分密度計
標配模擬 4-20 mA DC（2 個系統(tǒng)）和數(shù)字 RS232C。
標配測量誤差輸出和報警輸出。
標配自診斷功能和錯誤信息顯示。
小巧輕便的單元式變送器可直接安裝在生產(chǎn)線上。
PFA 潤濕部件材料，低輸出設(shè)計，不受化學品影響。
應用。
CMP 工藝中的 CMP 漿料和氧化劑濃度控制等。
清洗過程中的清洗液濃度控制（HF+HNO3、HF+H2SiF6 等）
蝕刻工藝中的蝕刻液濃度控制（TMAH + 抗蝕劑、TMAH + Si 等）
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型式
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FUD-1 Model-53
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変換器
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測量參數(shù)
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超音波伝播速度?溫度?導電率
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表示
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LCD（濃度1?濃度2?溫度?音速?導電率/各種パラメータ）
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出力信號
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模擬 4-20 mA DC：2 個系統(tǒng)（可自由設(shè)置濃度值）
數(shù)字 RS232C（濃度 1、濃度 2、聲速、溫度、電導率、錯誤代碼）
報警 上下限 測量誤差：2 個系統(tǒng)
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電源
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AC100V～240V 50/60Hz両用 30VA (DC24Vも使用可能)
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構(gòu)造
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面板安裝型（DIN規(guī)格準拠）
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環(huán)境溫度 変換器
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0～50℃
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RH85%以下（結(jié)露ないこと）
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機能
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輸出范圍設(shè)置功能、警報輸出設(shè)置功能、濃度顯示移動平均值功能、濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值取消功能、溫度時間常數(shù)補償
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選件
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溫度出力（DC4～20ｍA)
RS485出力（RS232Cとの同時出力不可）
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