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型號
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SH200-A
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SH200-R
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HT200-E
（即將上市）
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規(guī)格
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標準規(guī)格
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串口通信規(guī)格
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EtherCAT規(guī)格
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適應多離子傳感器
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M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
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可以連接的傳感器
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多離子傳感器：1本
皮拉尼真空計SWU10-R：1本（可選）
大其他傳感器SAU：1本（可選）
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測量精度（N2）
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SH200本體模式：±2％
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取樣時間
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60ms 5回 移動平均処理
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測定値出力
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出力電壓 DC 0～10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
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更新時間
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60msec
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控制輸入信號
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FIL ON/OFF, FIL 1/2, DEGAS ON/OFF
打開集電極動作、負邏輯
* FIL ON/OFF信號使用方式因模式而異
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制御出力信號
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傳感器錯誤，設定點1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控
定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
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串行通信規(guī)格
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RS232C/RS-485
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EtherCAT
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LED顯示
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POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
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發(fā)射電流
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1mA (1×10-3Pa以下), 10μA (1×10-3Pa以上)
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DEGAS
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電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
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測量部耐圧性
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2×10+5Pa （**壓力）
* 需要單獨考慮法蘭和夾具等的耐壓性
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傳感器內(nèi)部容量
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17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
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使用溫度范圍
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10～50℃
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使用濕度范圍
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15～80%(不結(jié)露)
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保管溫度
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-20～65℃(非通電時、不結(jié)露)
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IP保護等級
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IP30
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電源電壓
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DC20～28V (波紋，噪音1%以下)
8W以下
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輸入/輸出連接器
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D-sub15銷（M2.6螺絲）
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重量
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調(diào)節(jié)器：約280g 測定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
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外形尺寸 W×D×H
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69mm×63mm×90mm (控制器部分)
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適合規(guī)格
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CE
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選項
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多離子傳感器
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M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼
其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni???
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皮拉尼真空計傳感器
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SWU10-R ※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
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皮拉尼真空計
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SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034)
材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
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大氣壓傳感器
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SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
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單位電纜
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GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
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顯示單元
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1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
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顯示單元電纜
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SH200～顯示單元電纜
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
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連接器
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入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
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其他
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検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書
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