水晶式成膜控制器
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產(chǎn)品名稱(chēng):
水晶式成膜控制器
產(chǎn)品型號(hào):
CRTM-6000G
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品品牌:
ULVAC
產(chǎn)品文檔:
無(wú)相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
ULVAC 水晶式成膜控制器 CRTM-6000G
CRTM-6000G/水晶振蕩式成膜控制器，具有優(yōu)異的膜厚及成膜速度分辨能力。
尺寸緊湊，可以對(duì)應(yīng)低速率控制和*多99層的多層膜連續(xù)蒸發(fā)控制。
水晶式成膜控制器
的詳細(xì)介紹
ULVAC 水晶式成膜控制器 CRTM-6000G
特點(diǎn)
優(yōu)異的膜厚和成膜速率分辨率，在成膜速率低時(shí)也可以進(jìn)行控制
125 ms的快速采樣率可以很好地控制
可實(shí)現(xiàn)多層膜厚控制，*多可達(dá)99層
標(biāo)準(zhǔn)配有RS232C通信
*多可連接2個(gè)單傳感器（可切換）
配備可編程數(shù)字輸入/輸出（各12ch）和模擬輸出（3ch）
用途
蒸發(fā)時(shí)的膜厚及速率控制
規(guī)格