ULVAC DC電源 DC-10-DH

特點(diǎn)
豐富的高性能選項(xiàng)
輕巧且節(jié)省空間的設(shè)計(jì)
800V和1000V的電壓輸出范圍
適應(yīng)于等離子體的輸出控制
強(qiáng)制空氣冷卻系統(tǒng)，無需冷卻水
配備出色的ARC功能和高速ARC斷路器
可*多12臺設(shè)備并聯(lián)運(yùn)行（240kW）
符合RoHS、CE、SEMI-F47標(biāo)準(zhǔn)
用途
FPD濺射設(shè)備
半導(dǎo)體濺射設(shè)備
電子元器件濺射設(shè)備
工業(yè)涂層濺射設(shè)備
規(guī)格

工作環(huán)境溫度 5°C 至 40°C（無冷凝）。
操作環(huán)境 避免陽光直射、高溫、灰塵和振動(dòng) 無腐蝕性氣體。
*1：可選精度保證范圍為額定值的 1-10%。
*2：可提供輸出電壓和輸出電流的下限。 可選配 1%范圍內(nèi)的精度保證。
*3：800 V 和 1000 V 規(guī)格不能合并。

*4：EtherCAT 規(guī)格為可選項(xiàng)。 詳情請聯(lián)系我們。

可選功能

有四種升級包（或單元）可滿足客戶需求，具有其他直流電源不具備的獨(dú)特高性能功能。 這些新功能可幫助客戶解決以前無法解決的工藝問題，提高薄膜性能。

1. 高性能 RAMP

放電前控制輸出（點(diǎn)火操作）的功能，從而抑制放電開始時(shí)輸出的突然變化，并使放電后立即獲得穩(wěn)定狀態(tài)。傳統(tǒng)上，直流電源中的 RAMP 功能一般是在放電后控制輸出。 因此，我們將重點(diǎn)放在放電前的輸出控制上。通常，輸出控制是在放電后進(jìn)行的，因此可能無法獲得穩(wěn)定的放電狀態(tài)。 有了這項(xiàng)新功能，在放電前控制輸出（點(diǎn)火操作），就可以抑制放電開始時(shí)的瞬時(shí)高功率，穩(wěn)定放電。

2. 控制精度高
該功能可實(shí)現(xiàn)與設(shè)置相關(guān)的高精度輸出和**的連續(xù)重復(fù)性。
標(biāo)準(zhǔn)機(jī)器的設(shè)定輸出保證值范圍在 10%至 100%之間，低于 10%的值為非保證值，而添加本軟件包后，保證值可從 1%起得到保證。 即使在重復(fù)開關(guān)數(shù)千次或數(shù)萬次的過程中，輸出變化也很小，并且具有很高的可重復(fù)性。

出力再現(xiàn)性（σ：0.74W）

3.高速 ARC 處理
全新的 ARC 控制功能，其 ARC 截止時(shí)間為 5 μs，處于****水平。
直流電源在檢測到異常放電時(shí)會(huì)瞬間切斷輸出，但如果切斷時(shí)間過長，則可能無法恢復(fù)放電。
該封裝功能*大限度地縮短了截止時(shí)間，有利于維持放電和穩(wěn)定過程。 較短的截止時(shí)間還可縮短清洗沉積材料的預(yù)濺射時(shí)間。

4. 4.性能優(yōu)越的 ARC 處理
直流電源本身可判斷異常放電程度，并在檢測到異常放電后執(zhí)行輸出關(guān)斷時(shí)間的*佳關(guān)斷的功能。
一般的直流電源只能設(shè)置一種關(guān)斷模式。 然而，這種關(guān)斷方式往往不適合當(dāng)時(shí)的情況，導(dǎo)致后續(xù)沉積過程的效率降低，或因不久后再次發(fā)生異常放電而反復(fù)關(guān)斷。 這項(xiàng)新功能允許直流電源自行決定異常放電時(shí)的*佳關(guān)機(jī)方式，從而降低了異常放電再次發(fā)生的概率，并提高了沉積過程的效率。
這些功能的封裝方式使它們可以根據(jù)需要單獨(dú)或作為一組添加到單個(gè)直流電源中。 這些功能也可隨后添加到已在使用的電源中。

ARC遮斷時(shí)間の自動(dòng)判斷

寸法図

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