RF電源選配件

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產(chǎn)品名稱: RF電源選配件

產(chǎn)品型號(hào): EXN4M-40A

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

RF電源選配件 的詳細(xì)介紹

ULVAC RF電源選配件 EXN4M-40A

特點(diǎn)
可以切換匹配器的輸出。
不需要為每個(gè)陰極單獨(dú)安裝匹配器，大幅降低了設(shè)備成本。
有兩種類(lèi)型的切換方式：手動(dòng)和電機(jī)驅(qū)動(dòng)。此外，我們還準(zhǔn)備了對(duì)應(yīng)更高功率的水冷系統(tǒng)。
還可以作為DC電源，DC電源輸出切換器使用。
只有一個(gè)匹配器，不能超出匹配范圍的負(fù)荷下使用。
規(guī)格

規(guī)格	水冷目標(biāo)更換器　規(guī)格
	EXN2T-70W	EXN3T-70W	EXN4T-70W	EXN2M-70W	EXN3M-70W	EXN4M-70W
切換接點(diǎn)數(shù)	2個(gè)	3個(gè)	4個(gè)	2個(gè)	3個(gè)	4個(gè)
熱開(kāi)關(guān)	不可
使用頻率	DC-13.56MHz
額定傳導(dǎo)電流	70A
耐電壓	接點(diǎn)間　AC 10kV 1分（50/60Hz）
	接點(diǎn)-GND間　AC 10kV 1分（50/60Hz）
切換方式	手動(dòng)式			電動(dòng)式
電機(jī)額定功率				DC24V
電機(jī)額定電流				0.22A (0.75Amax)
接點(diǎn)位置輸出	微動(dòng)開(kāi)關(guān)（接點(diǎn)容量 0.25A 24VDC）
冷卻方式	水冷
冷卻流量	5L/min
耐圧	0.5MPa
適配	3/8inch N2管接頭
高頻連接用端子	O4mm螺栓
安裝現(xiàn)場(chǎng)溫度	5℃～35℃
安裝現(xiàn)場(chǎng)濕度	30%～80% (不結(jié)露)

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