金屬膜用EB槍

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產(chǎn)品名稱: 金屬膜用EB槍

產(chǎn)品型號: EGK?3

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品品牌: ULVAC

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

金屬膜用EB槍 的詳細介紹

ULVAC 金屬膜用EB槍 EGK?3

特點
采用容量3cc的坩堝，適合小規(guī)模生產(chǎn)。
由于電子束被電磁場偏轉(zhuǎn)，二次電子對成膜體的影響非常小。
即使是升華材料，掃描X軸和Y軸上的束斑也可以消除點蝕現(xiàn)象并可以順利蒸發(fā)。（日本**831485號.843447號）
電子束225°偏轉(zhuǎn)，燈絲不會從蒸發(fā)材料暴露，因此壽命很長。
發(fā)射器組件易于拆開，更換燈絲，絕緣體等非常容易。
規(guī)格

加速電壓		-4kV～-10kV DC
束電流		0.5A max (at -10kV)
*大輸入功率		5kW（-10kV、0.5A）
X軸偏轉(zhuǎn)線圈		0.4～3.5A -18VDCmax 22Ω（20℃）
燈絲		0～6V AC 40Amax
坩堝	容量	2.6cc
	尺寸	21Φ×15.6Φ×10H
電子束偏向角度		225°
有效蒸發(fā)角度		90°以上
蒸發(fā)速度		鋁5kW時　0.5μm/min以上（爐膛上方250H）
冷卻水量	坩堝	8L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
	線圈	1L/min以上 0.7MPa（*大圧力）
水溫		15～25℃
外形尺寸		110W×126H×207D
重量		約4kg
適用電源		HPS-510S、HPS-1000N、HPS-1600F
備注		建議使用電阻率為5kΩ·cm或更高的水。
Y軸偏轉(zhuǎn)線圈		0～±1.2A ±12VDVmax
（可選）		1.8Ω（20℃）

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金屬膜用EB槍

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